9月15日，大族激光在互動平臺上表示，目前，公司光刻機(jī)項目主要應(yīng)用在分立器件領(lǐng)域，分辨率3-5μm；其中，接近式光刻機(jī)已投入市場，步進(jìn)式光刻機(jī)已啟動用戶優(yōu)化，公司將根據(jù)市場需求及業(yè)務(wù)發(fā)展情況持續(xù)制定研發(fā)計劃，并加大研發(fā)核心部件國產(chǎn)化。